氦质谱测漏仪

氦质谱测漏仪是一种用于检测气体泄漏的高灵敏度仪器，广泛应用于航空航天、半导体制造和真空系统等领域。其工作原理基于氦气的特性，通过分析被测系统中氦气的浓度变化来判断是否存在泄漏。

该仪器在工业生产中发挥着重要作用，能有效提高系统的密封性能和运行安全性。